Αντιστασιακός
Ο αισθητήρας αντίστασης είναι μια συσκευή που μετατρέπει μετρούμενα φυσικά μεγέθη όπως μετατόπιση, παραμόρφωση, δύναμη, επιτάχυνση, υγρασία, θερμοκρασία κ.λπ. σε τιμές αντίστασης. Υπάρχουν κυρίως μετρητής τάσης αντίστασης, πιεζοαντιληπτικός τύπος, θερμική αντίσταση, θερμική, ευαίσθητη σε αέρια, ευαίσθητη στην υγρασία και άλλες συσκευές ανίχνευσης αντίστασης.
Μετρητής αντίστασης
Οι μετρητές αντίστασης στον αισθητήρα έχουν μια επίδραση μεταλλικής παραμόρφωσης, δηλ. συμβαίνει μηχανική παραμόρφωση υπό την επίδραση μιας εξωτερικής δύναμης, έτσι ώστε η τιμή αντίστασης να μεταβάλλεται ανάλογα. Υπάρχουν δύο κύριοι τύποι μετρητών καταπόνησης αντίστασης: μεταλλικοί και ημιαγωγοί, και οι μετρητές καταπόνησης μετάλλων χωρίζονται σε τύπο σύρματος, τύπο φύλλου και τύπο λεπτής μεμβράνης. Οι μετρητές καταπόνησης ημιαγωγών έχουν τα πλεονεκτήματα της υψηλής ευαισθησίας (συνήθως δεκάδες φορές μεγαλύτερη από αυτή των τύπων σύρματος και φύλλου) και μικρής εγκάρσιας επίδρασης.
Piezoresistive
Οι πιεζοαντιστικοί αισθητήρες είναι συσκευές που κατασκευάζονται με αντίσταση διάχυσης στο υπόστρωμα των ημιαγωγών υλικών σύμφωνα με την πιεζοαντιστική επίδραση των ημιαγωγών υλικών. Το υπόστρωμα μπορεί να χρησιμοποιηθεί απευθείας ως αισθητήριο στοιχείο μέτρησης και η αντίσταση διάχυσης συνδέεται με το υπόστρωμα με τη μορφή γέφυρας. Όταν το υπόστρωμα παραμορφωθεί από εξωτερική δύναμη, οι τιμές αντίστασης θα αλλάξουν και η γέφυρα θα παράγει μια αντίστοιχη μη ισορροπημένη έξοδο.
Τα υλικά του υποστρώματος (ή του διαφράγματος) που χρησιμοποιούνται ως πιεζοαντιστικοί αισθητήρες είναι κυρίως γκοφρέτες πυριτίου και γκοφρέτες γερμανίου, και οι πιεζοαντιστικοί αισθητήρες πυριτίου από γκοφρέτες πυριτίου ως ευαίσθητα υλικά έχουν προσελκύσει όλο και περισσότερη προσοχή, ειδικά για πιεζοαντιστικούς αισθητήρες στερεάς κατάστασης που μετρούν πίεση και ταχύτητα.
RTD
Η μέτρηση της θερμοκρασίας αντίστασης βασίζεται στο γεγονός ότι η αντίσταση ενός μεταλλικού αγωγού αυξάνεται με την αύξηση της θερμοκρασίας. Η θερμική αντίσταση κατασκευάζεται κυρίως από καθαρά μεταλλικά υλικά, με την πλατίνα και τον χαλκό να είναι τα πιο ευρέως χρησιμοποιούμενα και υλικά όπως το νικέλιο, το μαγγάνιο και το ρόδιο έχουν αρχίσει να χρησιμοποιούνται για την παραγωγή θερμικών αντιστάσεων.
Οι αισθητήρες RTD μετρούν τη θερμοκρασία και τις παραμέτρους που σχετίζονται με τη θερμοκρασία χρησιμοποιώντας το γεγονός ότι η τιμή αντίστασης αλλάζει με τη θερμοκρασία. Αυτός ο αισθητήρας είναι πιο κατάλληλος για περιπτώσεις όπου απαιτείται ακρίβεια ανίχνευσης θερμοκρασίας. Τα πιο εκτεταμένα υλικά RTD είναι η πλατίνα, ο χαλκός, το νικέλιο κ.λπ., τα οποία έχουν τα χαρακτηριστικά μεγάλου συντελεστή θερμοκρασίας αντίστασης, καλής γραμμικότητας, σταθερής απόδοσης, μεγάλου εύρους θερμοκρασιών και εύκολης επεξεργασίας. Χρησιμοποιείται για τη μέτρηση της θερμοκρασίας στην περιοχή των -200 βαθμών ~+500 βαθμών .